Die Mikrosystemtechnik verknüpft systemisch die Anwendungen aus Mikromechanik, Mikroelektronik, Mikrooptik und Mikrofluidik (Flüssigkeiten auf kleinstem Raum). Die Bauelemente der einzelnen Technologien werden zu neuen komplexen Systemen verbunden, mit denen unterschiedlichste Anwendungen möglich sind.
Anwendungsbereiche und Besonderheiten der Mikrosystemtechnik
Anwendungsbereiche der Mikrosystemtechnik finden sich in Elektro- und Verkehrstechnik, auch in der Medizin sind die kleinen Systeme sehr bedeutsam. Es werden Mikro Aktoren, die elektrische Signale in mechanische Bewegung umsetzen, genutzt. Die Mikrosystemtechnik überträgt auch bestehende Methoden aus der Biotechnologie, der Informatik und der Nanotechnologie in komplexe Mikrosysteme und kombiniert sie in neuen Systemen.
Die Abgrenzung zur Nanotechnologie besteht in zweierlei: Einerseits in den Abmessungen zwischen Nanometer ((1 milliardstel Meter) und Mikrometer (1 millionstel Meter), das heißt, tausend Nanometer sind ein Mikrometer. Die zweite, aus technischer Sicht wichtigere Abgrenzung: Im Nanobereich, der noch tausend Mal kleiner ist als der Mikrobereich und auch einzelne Atome und Moleküle arbeiten lässt, haben Stoffe andere chemische und physikalische Eigenschaften als im Mikrobereich.
Die Anziehung und Abstoßung von Atomen und Molekülen untereinander muss berücksichtigt werden, sodass Kombinationen aus unterschiedlichen Stoffen wie im Mikrobereich nicht mehr in gleicher Weise möglich sind. Daher unterscheiden sich beide Technologien auch grundlegend. Die stofflichen Besonderheiten treten freilich auch schon im Mikrobereich auf, damit beschäftigt sich ein Teilbereich der Mikrosystemtechnik, die Mikroverfahrenstechnik.
Komplexe Mikrosysteme
In einem Mikrosystem wirkt ein mikromechanischer Prozess zusammen mit einem mikroelektrischen Prozess, es wird ein winziges Aggregat durch elektrische Impulse in Bewegung gesetzt. Dabei können Flüssigkeiten einbezogen werden. Mikrosensoren registrieren die Abläufe im Mikrosystem und übertragen sie ins Datensystem.
Bild: http://www.flickr.com/photos/54299812@N06/5388078083/ – AMD Duron 850 Mhz (Spitfire) von AutomaticDefence bei Flickr
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