Die Mikrosystemtechnik verknüpft systemisch die Anwendungen aus Mikromechanik, Mikroelektronik, Mikrooptik und Mikrofluidik (Flüssigkeiten auf kleinstem Raum). Die Bauelemente der einzelnen Technologien werden zu neuen komplexen Systemen verbunden, mit denen unterschiedlichste Anwendungen möglich sind.
Anwendungsbereiche und Besonderheiten der Mikrosystemtechnik
Anwendungsbereiche der Mikrosystemtechnik finden sich in...
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